艾司摩爾ASML年內將交付最新型High-NA EUV光機

文、Daniel

全球知名晶片設備製造商「荷蘭艾司摩爾ASML」將交付最新型的「高數值孔徑極紫外光機High-NA EUV」給予公司所屬的長期合作夥伴,也就是台積電TSMC以及英特爾Intel 兩家半導體企業集團。

ASML最新研發製造生產的先進晶片製造設備,每部造價高達3.5億歐元,相當於2架空中巴士A320飛機重量,主要用於生產驅動「人工智能AI」應用程式和先進「消費電子產品晶片」。新型先進設備的高數值孔徑EUV與NXE系統一樣,將使用EUV光在矽晶圓上列印微小的特徵。另一方面,透過 NA旋鈕,可以提供更好的解析度,列印出比NXE系統還要小1.7倍的晶體管,近而實現2.9倍的晶體管密度。

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